EBCMOS混合型光电探测器研究

摘要：

介绍了EBCMOS探测器的工作原理、器件结构与发展历史.详细阐述了EBS增益机理,实现了600倍的EBS增益,并将EBCMOS与几种常见探测器特性进行了深入的对比研究.EBCMOS探测器将真空器件与半导体器件有机结合,融合了真空光电探测器增益高、响应速度快、光谱灵活和半导体器件空间分辨率高、数字化输出、功耗低和成本低等优点.目前已在生物检测、微光夜视、激光雷达等诸多领域取得了广泛的应用.

关键词：电子轰击互补金属氧化物、混合型光电探测器、光电阴极、电子轰击半导体(EBS)增益、激光雷达

所属期刊栏目：36

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金61605180

在线出版日期：2017-01-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：232-236,252