10.19453/j.cnki.1005-488x.2016.04.001
IGZO TFT详解
论述了IGZO TFT技术的背景、技术优势和应用.详细介绍了IGZO TFT的结构,性能和生产工艺,并对IGZO TFT生产线存在的问题和发展趋势做出了展望.
铟镓锌氧化物薄膜晶体管、迁移率、制造工艺
36
TN383.+1(半导体技术)
2017-01-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
217-220,226
10.19453/j.cnki.1005-488x.2016.04.001
铟镓锌氧化物薄膜晶体管、迁移率、制造工艺
36
TN383.+1(半导体技术)
2017-01-11(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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