零差激光干涉仪的大范围位移测量与精度分析

摘要：

研制了一种实用性强的零差激光干涉仪,采用立方角锥棱镜代替平面反射镜,克服了传统激光干涉仪光路调节困难的问题,并将其应用到大量程的位移测量中.研究了该改进型零差激光干涉仪的位移测量原理及信号处理方法.实验中,使用PI公司高精度的商用导轨来标定测量结果,通过比较测量结果来验证干涉仪的性能.实验结果表明,在百毫米级大范围位移测量中该干涉仪的位移测量精度可以达到小于0.7 μm.对测量过程中各种可能的误差来源进行了详细的分析,分析结果与实验相符.

关键词：位移测量、零差激光干涉仪、立方角锥棱镜、实时精密测量、误差分析

所属期刊栏目：36

分类号：O436;TN249(光学)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;江苏省自然科学基金;江苏省高等学校自然科学研究项目;江苏省普通高等学校研究生科研创新计划

在线出版日期：2016-04-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：5-11