透射式硅基液晶微显示器研制

摘要：

设计并研制了一种单色透射式硅基液晶微显示器,详细论述了透射式硅基液晶微显示器的整个研制工艺流程.为实现透射式结构,驱动背板芯片采用SOI CMOS工艺设计并且流片;使用两次键合的工艺完成了驱动背板芯片硅外延层的剥离和转移,掌握了实现透明背板的关键技术;以此透明背板为驱动基板完成了SXGA单色透射式硅基液晶微显示器的研制.

关键词：微显示器、透射式硅基液晶、集成电路外延层剥离与转移

所属期刊栏目：35

分类号：TN141.9(真空电子技术)

资助基金：总装备部预研管理中心"十二五"预研项目支持

在线出版日期：2016-01-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：217-221