微细直角图形失真及预补偿设计方法

摘要：

提出一种误差预补偿的方法,调整引起的掩模特征形状以实现光罩图形的轮廓调制,通过数据前期的预补偿,减少失真,从而改善微细直角的最终光刻制作结果.

关键词：掩模板、微细直角、图形失真、预补偿

所属期刊栏目：34

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2015-01-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：295-299