溅射压强对Sc掺杂ZnO薄膜绒面结构的影响

摘要：

采用射频磁控溅射方法,分别在0.5 Pa,1.0 Pa,1.5 Pa以及2.0 Pa的溅射压强下制备出了Sc:ZnO(SZO)薄膜,并用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外可见光分光光度计等设备对样品的晶体结构、表面形貌及光学性质进行了表征.结果表明,当溅射压强为1.5 Pa时,SZO薄膜沿平行于衬底的(100)方向择优生长,形成了织构化的表面形貌,陷光效果增强,可见光透过率达到87％,同时其光散射能力也有了显著提高.

关键词：SZO薄膜、溅射压强、绒面结构、光学性质

所属期刊栏目：34

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：上海市教育委员会科研创新项目09YZ23;国家自然科学基金61274067

在线出版日期：2014-04-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：11-15