复合发光碳膜

摘要：

分析研究复合碳膜的制备及场发射效果.在陶瓷衬底上磁控溅射一层金属钛,对金属钛层进行仔细研磨,放入微波等离子体化学气相沉积腔中,在镀钛陶瓷衬底上制备出碳膜.利用扫描电镜、x射线衍射、拉曼光谱分析复合碳膜的微观结构和微观表面形态,表明此碳膜是含有碳纳米管、非晶碳和球状微米金刚石颗粒的复合碳膜.用二极管型结构测试了复合碳膜的场致发射电子的性能.首次发光的电场为0.75 V/μm,稳定发光2.56V/μm的电场下,复合碳膜阴极发射电流密度为7.25 mA/cm2.并对其复合碳膜制备成因及发射机理进行了研究.

关键词：复合碳膜、场致电子发射、微波等离子体化学气相沉积

所属期刊栏目：34

分类号：TB383;O484(工程材料学)

资助基金：教育部科学技术重点资助项目205091;河南省高等学校青年骨干教师资助计划项目教高[2011]550号

在线出版日期：2014-04-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-4,15