溅射功率对氮化锌薄膜特性的影响

摘要：

在玻璃衬底上通过磁控反应溅射法,利用纯金属Zn靶,在N2-Ar等离子体氛围中制备出氮化锌薄膜.X射线衍射谱表明氮化锌具有(4 0 0)择优取向,反方铁锰矿结构.研究了溅射功率对氮化锌薄膜结构、电学及光学性质的影响.

关键词：氮化锌薄膜、磁控反应溅射法、结构特性、电学特性、光学特性

所属期刊栏目：33

分类号：TN304.2;TN305.8(半导体技术)

在线出版日期：2013-10-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：155-159