基于PERL技术的硅基PIN光电二极管的设计与仿真

摘要：

缺乏高质量的硅光电接受器件一直制约着全硅光电子回路的发展.分析讨论了PERL太阳能电池的高效光电特性技术,并将其应用于硅光电二极管,设计了一种高响应度,高截止频率的硅基PIN光电二极管的器件结构,说明了该结构的技术特点与制备工艺.使用SUPREM-Ⅳ仿真器对该器件进行了模拟仿真,讨论了I层的长度与厚度对器件性能的影响.

关键词：PERL技术、硅基PIN光电二极管、SUPREM-Ⅳ模拟仿真

所属期刊栏目：32

分类号：TN104.3(真空电子技术)

在线出版日期：2012-11-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：160-165