织构单晶硅表面上银纳米颗粒的制备及其反射性质研究

摘要：

为减少光反射损失,通过热蒸发在织构单晶硅(经含有碱液和添加剂的特殊溶液80℃腐蚀30 min而成)表面上沉积了一定厚度的银膜后经一定温度(0～500℃)退火形成银纳米颗粒.SEM下观察到,银纳米颗粒的大小和形状与退火温度有很大关系.银纳米颗粒表现出的等离激元性质对反射谱有影响.实验分析得到,Ag沉积质量是0.003 8 g,400℃ N2退火20 min时样品的反射率和反射率降低(REF＜1)的波段达到最佳匹配.另外,金字塔上银纳米颗粒的均匀性与沉积的厚度有关.

关键词：热蒸发、织构单晶硅、银纳米颗粒、等离激元、反射增强因子

所属期刊栏目：32

分类号：O485(固体物理学)

在线出版日期：2012-11-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：150-154,199