真空电子束蒸发制备Nd∶YAG薄膜

摘要：

采用真空电子束蒸发镀膜工艺制备纳米厚度的Nd∶YAG薄膜,经1 100 ℃真空高温退火处理使Nd∶YAG薄膜有效结晶,对Nd∶YAG薄膜的表面形貌、晶体结构、光致发光特性进行了测试.

关键词：Nd∶YAG薄膜、电子束蒸发、光致发光

所属期刊栏目：32

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：广州市应用基础研究计划200951-C411

在线出版日期：2012-06-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：56-58