透紫玻璃与蓝宝石的热压粘结工艺研究

摘要：

透射式GaN阴极组件是GaN紫外日盲型探测器的最关键部件之一.介绍了制备透射式GaN阴极组件的工艺难点,主要报道了透紫玻璃与蓝宝石的热压粘结工艺的原理和研制过程,并着重分析了热压粘结工艺中出现的问题,同时提出了拟定的解决方案.

关键词：透射式GaN阴极组件、透紫玻璃、蓝宝石、热压粘结

所属期刊栏目：30

分类号：O462.3(真空电子学（电子物理学）)

在线出版日期：2010-11-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：207-210