Al/Ag/Al复合薄膜电极的抗氧化性和电性能研究

摘要：

为开发大尺寸场发射显示器需要的能承受高温热处理的薄膜电极,以Al作为Ag层的保护层和与玻璃衬底的粘附层,采用直流磁控溅射制备了Al/Ag/Al复合薄膜及其电极.采用XRD、AFM、光学显微镜和电性能测试系统,研究不同温度热处理对复合薄膜和电极结构、表面形貌和电性能的影响.由于表面致密的Al2O3膜的保护,使得加热退火(<600℃)不会对Al/Ag/Al薄膜和电极造成明显的氧化,然而Al层与Ag层发生的界面扩散和固相反应增大了电极的电阻率(从5.0×10~(-8) Ω·m 上升至23.6×10~(-8) Ω·m).另外热处理温度足够高时(500℃、600℃),Ag原子向表面的扩散一定程度上降低了电极的化学稳定性.尽管如此,与Cr/Cu/Cr薄膜电极相比Al/Ag/Al薄膜电极仍然是一种能够承受高温热处理并且保持较低电阻率的新型电极.

关键词：Al/Ag/Al薄膜、薄膜电极、微观结构、界面化学反应

所属期刊栏目：29

分类号：TN104.3(真空电子技术)

资助基金：国家"863"计划平板显示重大专项2008AA03A313;福州大学博士基金项目826768

在线出版日期：2010-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：231-235