阵列波导器件封装中机器视觉系统的光源分析与设计

摘要：

为采用机器视觉实现对阵列波导器件的光路对准,需要设计合理的照明方式观测到阵列波导器件的光路.介绍了照明技术,通过实验比较了不同光源照明,最终发现采用平行光从背面进行照明才能观测到阵列波导器件的光路.按照明要求设计了一种新型的平行光源,通过对光源的光照度分布进行建模仿真,仿真结果显示在光照面积固定时,采用大焦距的透镜可以得到更均匀的光照度.实验结果显示,采用新设计的光源进行背面照明可以清晰观测到阵列波导器件的光路.

关键词：阵列波导器件、封装、机器视觉、光源

所属期刊栏目：29

分类号：TN929.11

资助基金：国家自然科学基金重点资助项目50735007;国家863高技术研究发展技术资助项目2007AA042344

在线出版日期：2009-05-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：55-59,65