三分量光波导加速度传感器中双M-Z干涉仪结构设计

摘要：

为了实现强电磁场环境下的三维地震高精度勘探,提出了一种新型的三分量光波导加速度传感器.对三分量光波导加速度传感器的双M-Z光波导干涉仪进行了研究和优化设计.用有效折射率法(EIM)分析了Ti:LiNbO3波导的单模传输并设计了单模波导.双M-Z光波导干涉仪的Y分支设计采用反正弦S型弯曲,并用有限差分光束传播法(FD-BPM)对干涉仪中光传输进行了理论分析和模拟计算,实验与理论分析吻合.对成功制作的双M-Z干涉芯片进行了测试.实验结果表明,干涉芯片性能良好.

关键词：加速度计、M-Z干涉仪、Ti:LiNbO3、结构设计

所属期刊栏目：28

分类号：TH744.3(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金项目40774067;四川省重点科技项目07JY029-135

在线出版日期：2009-03-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：254-257