彩色PDP喷砂工艺喷头速率控制公式和均匀性控制研究

摘要：

研究和引入了彩色PDP的喷砂工艺均匀性控制方法和喷头速率控制公式.均匀性控制研究表明增加喷砂次数,同时减小步进距离,或采用喷头阵列是提高喷砂工艺均匀性的有效措施.喷头速率控制公式给出了单次喷砂和多遍喷砂及喷头阵列和单喷头的喷头移动速率之间的关系.采用多个喷头的阵列适合工业化大生产.而长条形喷头更有利于提高喷砂工艺的均匀性.

关键词：障壁、喷砂工艺、喷头阵列、喷头速率控制公式

所属期刊栏目：28

分类号：TN141.5(真空电子技术)

在线出版日期：2009-03-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：250-253