椭偏仪数据处理及误差修正

摘要：

提出了一套对椭偏仪的测量误差进行有效修正的方案,设计了一个Windows版的椭偏仪测厚数据处理软件,并在该软件中嵌入了对测量数据的误差进行修正的方法,使椭偏仪的最终测量结果更加精确.制作了30片厚度梯度分布的标准样片(厚度20 nm～1 μm),用于从"软"、"硬"件两个方面对椭偏仪进行误差修正,使最终的误差小于1%.本文所提出的修正方案具有一定的普适性、实用性.

关键词：椭偏仪、薄膜厚度测量、误差修正、软件

所属期刊栏目：26

分类号：TP3(计算技术、计算机技术)

资助基金：国家重点实验室基金SK00401

在线出版日期：2006-10-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：208-210,216