ITO薄膜的溶胶-凝胶法制备

摘要：

介绍了几种用溶胶-凝胶法制备ITO薄膜的工艺方法,用其中一种无机的方法成功制备了ITO透明导电膜.当薄膜厚度为300 nm左右时,所得ITO薄膜在可见光区域内的平均透过率在85%以上,电阻率最低可达0.15 Ω·cm.

关键词：ITO薄膜、溶胶-凝胶、光电特性

所属期刊栏目：24

分类号：TN304.055(半导体技术)

在线出版日期：2005-01-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：249-253