非晶硅光电导层交流电阻率的研究

摘要：

利用等效电路,估算出高性能液晶光阀对非晶硅光电导层交流电阻率的要求.用化学气相沉积法在最佳工艺条件下制备了非晶硅薄膜,测量了样品的交流电阻率.结果表明,非晶硅薄膜的交流电阻率随照射光的波长增大而先减小后增大,随功率密度、衬底温度和射频功率的增大而减小.样品的交流电阻率满足高性能液晶光阀光电导层的要求.

关键词：非晶硅、交流电阻率、液晶光阀、光电导层

所属期刊栏目：24

分类号：O484.1(固体物理学)

在线出版日期：2004-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：12-15