真空蒸发法择优定向生长ZnO薄膜

摘要：

研究了(002)向择优生长ZnO薄膜.利用真空蒸发法制备ZnO薄膜,衬底材料是镜面抛光石英片.实验结果表明,用此方法可获得高度择优定向生长的ZnO薄膜,氧化退火温度对ZnO薄膜的结构有重要影响.

关键词：真空蒸发、ZnO薄膜、择优定向生长

所属期刊栏目：24

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2001AA513011;重庆市教委资助项目020804

在线出版日期：2004-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1-3