化学气相沉积TiO2薄膜的XPS研究

摘要：

通过XPS分析了TiO2薄膜的结构.薄膜是通过化学气相沉积的方法生长,有机源遇热发生分解,沉积在硅衬底上形成TiO2薄膜.XPS分析表明:所得TiO2薄膜含有Ti、C、O、Al、Si元素.各元素的电子结合能与理论值并无太大的偏移,说明通过化学气相沉积法制备的TiO2薄膜,纯度高,质量好,晶型为锐钛矿.

关键词：TiO2、化学气相沉积、X射线光电子能谱

所属期刊栏目：23

分类号：TN304.2+1(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：35-37,45