Al合金布线材料Fe掺杂最佳含量的理论分析

摘要：

介绍一个最佳掺杂含量表达式,应用此表达式分析计算了Al-Fe合金布线材料Fe掺杂最佳含量,定量计算的结果与实验数据基本符合.

关键词：Al-Fe合金薄膜、晶体结构、制备方法、最佳掺杂含量、理论计算

所属期刊栏目：22

分类号：O484;TN304(固体物理学)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：168-170