真空镀膜机的原理及故障分析

摘要：

真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制过程中广泛使用的设备,本文就DMF-700电子束真空镀膜设备在实际工作中出现的主要故障进行分析,并给出故障排查的方法.

关键词：真空镀膜、高压电源、维修

所属期刊栏目：22

分类号：TN305.8(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：114-118