有机衬底上掺Sb的SnO2透明导电膜的性质与制备参数关系的研究

摘要：

采用射频磁控溅射法在透明聚酯胶片上制备出了SnO2∶Sb透明导电膜,主要讨论了制备条件对薄膜光电特性的影响.制备的样品为多晶薄膜,并且保持了二氧化锡的金红石结构,具有明显的[110]的趋向.通过调节制备参数,制备出了电阻率为3.7×10-3 Ω*cm,平均透过率高于80%的高质量薄膜.

关键词：透明薄膜、光电特性、溅射

所属期刊栏目：22

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：山东省计委科技攻关项目鲁计投资1997602

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：63-67