辉光放电等离子体鞘层的计算机模拟

摘要：

本文利用蒙特卡罗方法，模拟了氩气辉光放电鞘层内离子的运动过程，得到了不同气压和不同放电电压下离子入射阴极的能量分布和角度分布。模拟基于离子与中性原子的电荷转移碰撞和弹性散射两种物理过程，并且分别考虑了碰撞截面与能量相关和不相关两种情况。同时较为系统地研究了放电参数对离子能量分布和角度分布的影响。

关键词：辉光放电、等离子体鞘层、蒙特卡罗模拟

所属期刊栏目：21

分类号：TN13(真空电子技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：109-115