用于FEA场发射微尖表面的硅化物薄膜

摘要：

一些硅的化合物具有良好的场发射特性,如果用作FEA发射微尖表面的薄膜,将能较好地提高FEA的发射特性.本文对这一类硅化物的制作、测量与性能作了说明.

关键词：硅化物、FEA、特性、薄膜、场致发射

所属期刊栏目：20

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：111-115