小型辉光放电光谱分析系统的研制及应用

摘要：

辉光放电光谱分析仪器可直接分析固体样品,并可对样品表面进行沿深度方向的逐层分析,可用于材料表面成分分析、产品质量检验等研究领域.文中研究了一种小型辉光放电光谱系统,研制了辉光放电激发源,并采用射频电源驱动.采用AvaSpec-ULS2048型便携式CCD全光谱检测器,代替传统的多道分光检测系统,简化了仪器结构并减小了体积,更适合应用于小型的实验室和学校研究室等一些场合.通过实验确定了此系统分析铜基、铁基块状样品的最优工作参数,为射频功率50 W、氩气压强270 Pa.采用本系统对铜基、铁基块状样品进行了分析精密度实验,Cu基样品中的P、S、Al、Si元素测试结果的相对标准偏差值(RSD)均≤2.13％,Fe基样品中的Cu、C、Al、Si元素测试结果的相对标准偏差值(RSD)均≤2.08％.采用该系统对20.86 μm镀锌层样品进行了深度剖面分析,给出了Zn、Fe、C、P、Al、Si元素的光谱强度分析曲线.

关键词：辉光放电光谱、CCD光谱检测、深度分析、射频、光谱强度

所属期刊栏目：46

分类号：TH744.1;O657.31;TP311.52

资助基金：国家自然科学基金;河北省自然科学基金;河北大学研究生教育教学改革研究项目

在线出版日期：2020-05-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：709-714