低风速下射频等离子体的辉光放电特性

摘要：

为研究射频等离子体辉光放电特性与风速、气压之间的关系,以等离子体风速传感器为研究背景,建立了射频等离子体辉光放电实验系统,研究了激励器在不同放电间距(0.05 mm和0.08 mm)、不同来流速度(0～45 m/s)、不同电源输出功率(10W和20 W)和不同气压(50～100 kPa)下的放电特性.结果表明:电极间距越小,射频等离子体辉光放电稳定性越高;在固定的电源输出功率和工作频率下,发现了激励器负载电压与来流速度关系的3个阶段:电极过热阶段、线性阶段和放电不稳定阶段;在不同的电源输出功率下,对应不同的风速范围,激励器负载电压与风速具有良好的线性关系;在亚音速气流对应的静压(总压为大气压)范围内,射频等离子体辉光放电对气压变化不敏感.

关键词：射频等离子体、辉光放电、风速、风速传感器、放电特性、气压

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资助基金：国家自然科学基金11472306;51407197;陕西省工业科技攻关项目2015GY050;Project supported by National Natural Science Foundation of China 11472306,51407197,Key Science and Technology Program of Shaanxi Province,China 2015GY050.

在线出版日期：2016-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1962-1968