高功率准分子激光沉积类金刚石膜的结构及性能

摘要：

采用高功率和高频率准分子激光器在高真空及H2和N2气氛下沉积类金刚石膜.利用Raman光谱和电子衍射方法分析了膜的微结构.Raman光谱呈典型DLC膜的特征,G峰位于1 528 cm-1,D峰位于1 327 cm-1,为一大的肩峰,电子衍射图象呈多晶电子衍射特征,可观察到5个同心圆环,由此计算出的面间距与金刚石(111),(200),(220),(331)和(332)面间距相符.红外吸收光谱测量结果表明,在Ge片上单面镀类金刚石膜具有明显的红外增透效果,在1 000～3 000 cm-1范围内红外透过率达到55%以上.用原子力显微镜和SEM观察了表面形貌,用显微硬度计和显微划痕仪测试了膜的硬度与附着力.

关键词：准分子激光器、类金刚石膜、结构特性

所属期刊栏目：24

分类号：O483(固体物理学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA325090

在线出版日期：2004-03-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：2048-2050