硒化锌晶体平面超精密复合加工

摘要：

硒化锌晶体作为常用的红外晶体材料,广泛应用于红外光学系统中.为了提高大口径硒化锌晶体平面光学元件的加工质量和效率,提出了将超精密飞刀车削加工与传统数控抛光技术相结合的加工方法,首先进行超精密飞刀车削加工,获取到较好的形状精度和表面质量,然后针对飞刀车削后表面痕迹进行传统数控抛光加工,进一步提高光学元件的形状精度和粗糙度.经过实验验证,该方法有效提高了硒化锌平面晶体的加工效率并改善了加工后的表面质量,对硒化锌晶体的超精密加工方式具有重要的参考价值.

关键词：硒化锌晶体、超精密飞刀车削加工、传统数控抛光技术、粗糙度

所属期刊栏目：38

分类号：TH161

在线出版日期：2023-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：85-88