轻量化碳化硅反射镜古典光学加工研究

摘要：

介绍了一类轻量化碳化硅反射镜的古典光学加工方法.其中精磨阶段,应用金刚砂和碳化硼分别对镜体进行了精磨试验.结果表明,在相同精磨时间下,碳化硼散粒磨料(240#)的磨削量至少比金刚砂散粒磨料大0.01 mm,切削效果明显优于金刚砂散粒磨料,并形成载荷50 N,主轴转速45 r/min的精磨最佳工艺参数;抛光阶段,以柏油抛光模为基底,分别使用氧化铈抛光液和钻石液对镜体进行抛光,结果表明钻石液可有效改善零件的面形和表面质量,并形成载荷为30 N,主轴转速为60 r/min的抛光最佳工艺参数.分别使用W1和W0.3两种粒度的钻石液对镜体抛光,可使镜体面形最佳达到低光圈3道,表面光洁度良好,无明显路子与亮点.由于镜体结构的特殊性导致其抛光难度较大,继续应用环形抛光机对镜体进行无应力抛光,修改镜体局部不规则度,最终零件不规则度可满足1道光圈.

关键词：碳化硅、反射镜、光学加工

所属期刊栏目：38

分类号：TN206(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2023-04-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：83-88