LCD-ITO膜层导致ESD研究及改善

摘要：

ESD是LCD生产过程中经常会遇到的问题,生产过程中的各个环节都有可能产生静电放电现象.文中结合LCD生产过程中遇到的实际情况,对静电产生的原因展开认真研究.通过理论分析和实验验证,当ITO膜层表面结晶存在很多尖峰的时候,由于微电产和电势差的原因,很容易出现静电放电现象、烧伤甚至烧断ITO走线.根据试验验证了靶材使用时间、温度和气氛工艺,结果发现,气氛工艺的调整是有效解决ESD问题的方法.通过气氛工艺的调整,LCD的ESD测试性能达到了目标要求,生产的ESD不良比例从18.9％下降到了0.002％以下,通过改善提高了产品品质,降低了生产成本,取得了很好的经济效益.

关键词：ESD;ITO烧伤;ITO表面形貌;气氛工艺

所属期刊栏目：36

分类号：TN151(真空电子技术)

在线出版日期：2021-10-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：51-54