几种光学超分辨技术研究

摘要：

随着人们对光学仪器分辨率的不懈追求,出现了超分辨这一概念.文中主要研究介绍了显微镜和投影光刻系统中的几种光学超分辨技术,并比较了两类系统超分辨技术的不同和联系,对光学超分辨技术进行总结.

关键词：超分辨、显微镜、投影光刻系统、分辨率

所属期刊栏目：32

分类号：TH742(仪器、仪表)

在线出版日期：2017-09-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：8-13