基于ZEMAX的f-θ透镜的光学设计

摘要：

f-θ透镜是激光标刻系统中最为重要的组成部分,它的性能将直接影响标刻机的标刻精度.设计的f-θ透镜波长为0.65 μm的单色光,设计时引入负的桶形畸变,校正系统的场曲,使匹兹伐尔场曲为零,轴外和轴上像质一致,整个像面成平面,且系统波像差小于λ/4.把入瞳放置在物方焦点处,形成像方远心光路,主光线通过f-θ透镜后平行于光轴射出,主光线在像面上的交点高度不变,描过程实现线性扫描,从而保障扫描精度.通过初级像差分析和已有的光学镜头库,确定f-θ透镜的初始结构参量,然后利用ZEMAX软件进行优化设计,得到由四片普通球面透镜构成的系统,该系统结构紧凑、焦距小,聚焦性能接近衍射极限,并且像面照度分布均匀、能量集中且相对畸变小,满足标刻要求.

关键词：f-θ透镜、光学设计、ZEMAX、激光标刻

所属期刊栏目：31

分类号：O439(光学)

在线出版日期：2016-07-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：5-10,38