硅太阳电池扩散方阻均匀性研究

摘要：

在规模化生产制作单晶硅太阳能电池过程中,控制扩散质量是提升电池质量和效率的关键.在分析了设备及工艺方面存在的影响扩散均匀性因素的基础上,提出了优化扩散均匀性的实验方法,包括:在硅片表面上制作二氧化硅薄膜来减缓磷扩散的速度;在扩散时控制小氮与氧气的流量比例;减少扩散过程中温度波动对扩散结果的影响;在炉口区域设置较高的温度进行温度补偿;调整炉内压强使输入输出达到动态平衡等.试验证明这些方法可以改善电池电性能,并对工业化生产具有一定的参考价值

关键词：硅太阳电池、扩散、方块电阻、均匀性

分类号：TM914.4+1

在线出版日期：2012-07-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：50-58