紫外激光与半导体相互作用研究进展综述

摘要：

紫外激光与半导体相互作用是当今国内外研究的热点。综述了紫外激光与半导体相互作用在光电子产业、激光加工、激光表面改性等方面的应用。介绍了紫外激光与半导体相互作用的基本原理,总结了紫外激光烧蚀半导体的理论模型,包括热传导模型、载流子耦合扩散模型、光化学模型、表面热蒸发模型、双温模型、表面充电模型等。总结了关于损伤形貌、烧蚀阈值和紫外激光损伤半导体机理的实验研究。提出了紫外激光与半导体相互作用可能的研究和新的应用方向。

关键词：激光辐照、半导体、损伤机理、损伤阈值

所属期刊栏目：27

分类号：O437(光学)

在线出版日期：2012-07-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：21-26