双振镜激光扫描的误差分析及校正方法

摘要：

近年来，二维振镜激光扫描技术因其速度快、精度高、易于控制等特点，得到了越来越广泛的应用．但振镜扫描系统在扫描过程中，存在着固有扫描场的几何畸变，系统本身也存在着线性、非线性误差以及其他误差等，严重影响了振镜扫描系统在不同应用领域的扫描质量。从理论推导出发，较为详细地分析了物镜前扫描和物镜后扫描两种方式存在的几何畸变以及各种误差，并提出了针对性的补偿方法。在对各种误差理论分析的基础上，对校正思路进行了展望，提出了一些看法和建议。

关键词：双振镜、几何畸变、误差分析、展望

所属期刊栏目：26

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：14-18