热压硫化锌基底上类金刚石膜的设计与实现

摘要：

讨论了在ZnS窗口和整流罩上实现DLC膜的方法,给出了膜系和实验结果.从测试结果可以看出,ZnS基片、Si膜和DLC膜在7～10 μm的平均透过率比以往的双面减反射膜有了明显的提高,不仅满足了技术指标的要求,而且也有利于DLC膜应用领域的进一步拓展.

关键词：硫化锌、类金刚石膜、化学气相沉积、热压、射频等离子放电法

所属期刊栏目：22

分类号：TQ129;TB43

资助基金：教育部重点实验室基金2005-19

在线出版日期：2008-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：41-44