基于DMD的数字灰阶编码掩模的设计

摘要：

引入了一种利用空间光调制器DMD设计编码掩模的新方法,将编码掩模与DMD结合起来,充分发挥DMD(Digital Micro mirror Device,简称DMD)的实时性、灵活性以及易于对准的优点.还可以实现对投影曝光过程中的非线性因素引起的预畸变进行预校正.

关键词：编码掩模、DMD、非线性因素、预畸变

所属期刊栏目：22

分类号：TP391.44(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2007-11-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：35-37