数字微镜器件(DMD)在相干光照明下的空间光调制特性

摘要：

分析了DMD的微结构和工作原理;引入占空比因子,通过空间分区建立了较为完善的DMD空间光调制理论模型;根据该模型预测了经DMD调制后的频谱中,存在2个互补图像区域;沿这2个互补区域的对称轴方向各级衍射不含图像调制信息;设计了相干光照明下DMD空间光调制特性实验,理论与实验符合得很好.

关键词：数字微镜器件(DMD)、空间光调制特性、二维光栅结构、衍射

所属期刊栏目：22

分类号：TN972+.1

在线出版日期：2007-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：31-35