压电陶瓷光学移相器的一维标定方法

摘要：

利用光干涉原理设计了一套比较简单有效的测量系统,并对压电陶瓷的电压-位移曲线进行测试和分析.研究了PZT 移相器的重复性、线性,总结了步进电压从0.2～0.5 V、时间间隔从10～90 ms驱动参数对PZT位移量和非线性误差影响的规律.标定结果表明,电压在206～222 V范围内,当步进电压为0.3 V;时间间隔为10 ms时,PZT电压-位移曲线与拟合直线的平均标准差可达到2.795 nm.

关键词：压电陶瓷移相器、干涉、一维标定、线性

所属期刊栏目：22

分类号：TH744(仪器、仪表)

在线出版日期：2007-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：36-40