多孔硅研究的回顾与展望

摘要：

回顾了多孔硅的研究历史、制备方法、形成机理以及发光机理的研究现状,同时对多孔硅的发展作了展望.

关键词：多孔硅、制备方法、形成机理、发光机理

所属期刊栏目：19

分类号：TN304.1(半导体技术)

在线出版日期：2004-08-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-5