温度变化对受静电力作用微圆板的影响分析

摘要：

以考虑温度效应时,受静电力作用的微圆板静力弯曲变形微分方程为基础,该文首先针对轴对称问题的特点,利用级数展开和求极限法则,对圆板静力弯曲变形微分方程进行了改进.改进后的微分方程消除了圆心处的奇异性.其次,利用改进后的圆板静力变形弯曲微分方程,对周边固支圆板受静电力和温度变化作用下的受力变形进行分析.分析过程分为3个阶段:正常模式、过渡模式和接触模式.在数值求解圆板弯曲变形微分方程时,主要将非线性微分方程的求解化成迭代求解两个未知量的问题,一个未知量是形成静电场力的电压,而另一个未知量是圆板的一个边界条件.在实例中,给出了部分计算结果,包括:温度变化对不同阶段圆板受力变形的影响,温度变化对吸合电压的影响,以及不同温度变化下,圆板的几何尺寸对吸合电压的影响,从而可以更好地了解温度变化的作用和影响.

关键词：微圆板、温度变化、静电力、吸合电压、数值解

所属期刊栏目：32

分类号：O39(应用力学)

在线出版日期：2015-03-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：20-30