激光共聚焦显微镜测量表面粗糙度的探究

摘要：

介绍了利用激光共聚焦显微镜对不同粗糙度标准样块表面进行粗糙度测量时,各试验参数对测量结果的影响.对于标准样块,测得的面粗糙度(Sa)符合测量要求(示值误差≤5%),最终确定合理的试验参数.方法不但具有非接触、高分辨率、测量速度快的特点,同时可以获得被测表面的三维形貌,可以更加直观的对表面进行评价,使激光共聚焦显微镜能够更好的应用于工业材料表面轮廓分析领域.

关键词：激光共聚焦显微镜、非接触、三维形貌、面粗糙度

所属期刊栏目：29

分类号：O65(分析化学)

在线出版日期：2023-07-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：203-208