单晶硅拉晶炉富氩尾气回收管道腐蚀原因

摘要：

通过设备运行情况分析、化学成分分析,研究了单晶硅拉晶炉富氩尾气回收管道的腐蚀原因.结果表明:引起管道腐蚀的原因是真空泵的润滑油在高温下分解产生了氟化氢、硫化氢及氯化氢等多种腐蚀性物质,这些腐蚀性物质溶于冷凝水中,并随着时间的延长逐渐累积,从而造成管道的腐蚀.通过吸附剂吸附、去离子水吸收以及优化管道的材质和壁厚解决了管道腐蚀问题.

关键词：单晶硅拉晶炉、富氩尾气、管道腐蚀、润滑油

所属期刊栏目：44

分类号：TG174(金属学与热处理)

资助基金：水电机械设备设计与维护湖北省重点实验室开放基金项目;石墨增材制造技术与装备湖北省工程研究中心开放基金

在线出版日期：2023-06-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：107-112