人体汗液作用下LED芯片的失效机理

摘要：

对含铝反射电极的半导体发光二极管LED芯片在人体汗液作用下的失效现象进行了研究.通过扫描电子显微镜(SEM)和X射线能谱仪(EDS),对失效样品不同区域的成分进行对比分析;通过模拟人体汗液污染试验,对优化电极工艺和结构后的芯片进行失效对比验证.结果表明:汗液中的卤素氯离子与电极中铝层发生电化学腐蚀,致使电极与外延层界面间黏附力降低,最终导致芯片电极脱离后失效.

关键词：发光二极管、铝电极、汗液、腐蚀

所属期刊栏目：43

分类号：TN383+.1;TG174.3+6(半导体技术)

资助基金：扬州市自然科学基金;扬州大学广陵学院教学改革研究项目

在线出版日期：2023-01-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：106-109,118