TaN薄膜局部腐蚀早期过程的ECAFM原位研究

摘要：

电化学原子力显微镜(ECAFM)可以在液体环境下工作,能原位观察电极反应过程中的腐蚀界面形貌.文章介绍利用ECAFM从纳米空间分辨度上原位研究离子束增强沉积TaN膜在0.4mol/L HCl溶液中的局部腐蚀早期过程,结果发现,表面形貌为颗粒状结构的TaN膜在0.4mol/L HCl中进行阳极极化时,颗粒结构的微观顶峰优先溶解,导致颗粒高度降低,边界扩大蔓延,使膜层表面趋于平整化.

关键词：电化学原子力显微镜、TaN、原位、腐蚀

所属期刊栏目：25

分类号：TG174.3(金属学与热处理)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：112-114