Al2O3与TiO2混合离子镀过程中工艺参数对涂层性能的影响

摘要：

讨论了在采用离子镀获得Al_2O_3与TiO_2混合涂层工艺过程中，真空度、基片偏压、电子枪功率等主要工艺参数对涂层性能的影响。

关键词：反应离子镀、结合强度、沉积速率

所属期刊栏目：24

分类号：TG174.444(金属学与热处理)

在线出版日期：2004-07-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：252-253