MPECVD法在抛光石英玻璃上沉积金刚石薄膜

摘要：

采用微波等离子体增强化学气相沉积方法(MPECVD),利用氢气和甲烷混合气体,在抛光石英基片上低温沉积出金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)、激光拉曼光谱仪(Raman)和傅立叶红外光谱仪(FTIR)对薄膜的表面形貌、颗粒尺寸、纯度和光学透过性能进行了表征.通过SEM发现,得到的金刚石薄膜的颗粒尺寸为0.2～0.3μm,形核密度超过109cm-2,从薄膜形貌可以发现,较高温度有利于提高薄膜的生长速率和颗粒尺寸的均匀性.通过拉曼光谱和红外透射光谱分析发现,较高温度下沉积的薄膜具有较高的金刚石相含量,薄膜的光学透过性能也相对较好.

关键词：化学气相沉积、金刚石薄膜、石英玻璃、微波

所属期刊栏目：26

分类号：O6(化学)

资助基金：湖北省科技攻关项目2002AA105A02;湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队资助计划项目

在线出版日期：2007-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：47-50