非球曲面光学元件的超精密加工与检测技术的探讨

摘要：

针对非球曲面光学元件加工困难等问题,根据非球曲面超精密测量技术的现状和发展,探讨非球曲面的超精密加工系统、 非球面超精密复合加工工艺综合设计和制造技术.分析了如何设计一种普适度广的超精密加工系统,讨论了其超精密加工原理和方法及检测手段.

关键词：超精密加工、非球曲面、测量

在线出版日期：2020-07-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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